微細加工技術雜志基礎信息：

《微細加工技術》雜志創(chuàng)刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發(fā)行的中央級重要科技期刊。

微細加工技術雜志期刊榮譽：

《微細加工技術》雜志是國家一級檢索刊物，已連續(xù)9年被美國工程信息公司Ei數(shù)據(jù)庫收錄，是《中國期刊網(wǎng)》、《中國學術期刊（光盤版）》、《中國學術期刊綜合評價數(shù)據(jù)庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數(shù)據(jù)庫》來源期刊。

微細加工技術雜志欄目設置：

本刊主要欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術。

微細加工技術雜志訂閱方式：

ISSN：1003-8213，CN：43-1140/TN，地址：長沙市新開鋪路1025號48所湯輝收，郵政編碼：410111。

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微細加工技術雜志社投稿信息

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（二）文題文題要準確簡明地反映文章內容，一般不宜超過20個字，作者姓名排在文題下。

（三）作者與單位文稿作者署名人數(shù)一般不超過5人，作者單位不超過3個。第一作者須附簡介，包括工作單位、地址、郵編、年齡、性別、民族、學歷、職稱、職務；其它作者附作者單位、地址和郵編。

（四）摘要和關鍵詞所有論文均要求有中文摘要和關鍵詞，摘要用第三人稱撰寫，分目的、方法、結果及結論四部分，完整準確概括文章的實質性內容，以150字左右為宜，關鍵詞一般3～6個。

（五）標題層次一級標題用“一、二、……”來標識，二級標題用“（一）、（二）、……”來標識，三級標題用“1.2.”來標識，四級標題用“（1）、（2）”來標識。一般不宜超過4層。標題行和每段正文首行均空二格。各級標題末尾均不加標點。

（六）計量單位、數(shù)字、符號文稿必須使用法定的計量單位符號。

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微細加工技術雜志社編輯部征稿用過濾式電弧沉積系統(tǒng)制備類金剛石薄膜三元硅化物(CoxNil-x)Si2薄膜的制備及特性亞微米分步重復投影光刻機總體設計考慮的幾個問題紫外光寫入的光纖Bragg光柵電子束偏放輸出溫度漂移的自動補償0.1微米電子束曝光機成像系統(tǒng)的計算激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝LIGA技術制作Fresnel波帶片的研究金屬型場發(fā)射陣列的研究一種微摩擦力光學測試方法SU-8環(huán)氧樹脂的分離實驗研究利用等離子體表面預處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性多層薄膜微結構熱應力計算脈沖電鍍制備硅基細晶鎳鐵合金薄膜PECVD法制備的ZnO薄膜結晶性能的影響采用氨化技術制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結構設計新型壓電微噴的研制硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究MEMS微電磁驅動器磨損對光開關性能的影響分析